普通光學顯微鏡通過提高和改善透鏡的性能，使放大率達到１０００─１５００倍左右，但一直末*過２０００倍。這是由于普通光學顯微鏡的放大能力受光的波長的限制。光學顯微鏡是利用光線來看物體，為了看到物體，物體的尺寸就必須大于光的波長，否則光就會“繞”過去。理論研究結果表明，普通光學顯微鏡的分辨本領不*過２００毫米，有人采用波長比可見光更短的紫外線，放大能力也不過再提高一倍左右。
　　
　　要想看到組成物質的*小單位──原子，光學顯微鏡的分辨本領還差３─４個量級。為了從更高的層次上研究物質的結構，必須另辟蹊徑，創造出功能更強的顯微鏡。
　　
　　有人設想用波長比紫外線更短的Ｘ射線的透鏡。
　　
　　２０世紀２０年代法國科學家德布羅意發現電子流也具有波動性，其波長與能量有確定關系，能量越大波長越短，比如電子學１０００伏特的電場加速后其波長是０．３８８埃，用１０萬伏電場加速后波長只有０．０３８７埃，于是科學家們就想到是否可以用電子束來代替光波？這是電子顯微鏡即將誕生的一個先兆。
　　
　　用電子束來制造顯微鏡，關鍵是找到能使電子束聚焦的透鏡，光學透鏡是無法會聚電子束的。
　　
　　１９２６年，德國科學家蒲許提出了關于電子在磁場中運動的理論。他指出：“具有軸對稱性的磁場對電子束來說起著透鏡的作用。”這樣，蒲許就從理論上解決了電子顯微鏡的透鏡問題，因為對電子束來說，磁場顯示出透鏡的作用，所以稱為“磁透鏡”。
　　
　　德國柏林工科大學的年輕研究員盧斯卡，１９３２年制作了*臺電子顯微鏡──它是一臺經過改進的陰極射線示波器，成功地得到了銅網的放大像──*次由電子束形成的圖像，加速電壓為７萬，*初放大率僅為１２倍。盡管放大率微不足道，但它卻證實了使用電子束和電子透鏡可形成與光學像相同的電子像。
　　
　　經過不斷地改進，１９３３年盧斯卡制成了二級放大的電子顯微鏡，獲得了金屬箔和纖維的１萬倍的放大像。
　　
　　１９３７年應西門子公司的邀請，盧斯理建立了*顯微鏡學實驗室。１９３９年西門子公司制造出分辨本領達到３０埃的世界上*早的實用電子顯微鏡，并投入批量生產。
　　
　　電子顯微鏡的出現使人類的洞察能力提高了好幾百倍，不僅看到了病毒，而且看見了一些大分子，即使經過特殊制備的某些類型材料樣品里的原子，也能夠被看到。
　　
　　但是，受電子顯微鏡本身的設計原理和現代加工技術手段的限制，目前它的分辨本領已經接近極限。要進一步研究比原子尺度更小的微觀世界必須要有概念和原理上的根本突破。
　　
　　１９７８年，一種新的物理探測系統──“掃描隧道顯微鏡已被德國學者賓尼格和瑞士學者羅雷爾系統地論證了，并于１９８２年制造成功。這種新型的顯微鏡，放大倍數可達３億倍，*小可分辨的兩點距離為原子直徑的１／１０，也就是說它的分辨率高達０．１埃。
　　
　　掃描隧道顯微鏡采用了**的工作原理，它利用一種電子隧道現象，將樣品本身作為一具電極，另一個電極是一根非常尖銳的探針，把探針移近樣品，并在兩者之間加上電壓，當探針和樣品表面相距只有數十埃時，由于隧道效應在探針與樣品表面之間就會產生隧穿電流，并保持不變，若表面有微小起伏，哪怕只有原子大小的起伏，也將使穿電流發生成千上萬倍的變化，這種攜帶原子結構的信息，輸入電子計算機，經過處理即可在熒光屏上顯示出一幅物體的三維圖像。
　　
　　鑒于盧斯卡發明電子顯微鏡的，賓尼格、羅雷爾設計制造掃描隧道顯微鏡的業績，瑞典皇家科學院決定將１９８６年諾貝爾物理獎授予他們三人。